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MsL
  • 胶阀选项： 螺杆阀、压电喷射阀
  • 磁浮马达 (±5μm）
  • 图像处理＆高度测量
  • 其他各种校准系统

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MsL
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Ultra-High Precision Dispenser
Ultra-High Precision Dispenser
Models MsL
Dimension 1,300×1,100×1,380mm
Weight 1500kg
Power Supply AC200V,3Phase,30A
Gantry Speed 1,500mm/s
X / Y Positional Accuracy - 3 sigma ±5μm
Working Area MAX:250×330mm/MIN:50×70mm
Vision Digital Camera
Height Sensor Laser Sensor
机器人类型
  • 采用立体涂布技术。
  • 优异的位置精度以及重复性精度可对应小型化趋势。
  • 整定时间短的优势，可缩短 Tact Time。
Vision 测量
  • 实现高速图像处理，大幅度减少了图像处理所需时间。
  • Vision重复精度：±1μm
  • 0.01sec/point
  • 搭载部件涂布位置补偿功能(±1μm 单位的补偿以及θ方向的补偿)
高度测量系统－高度传感器
  • 配备非接触式激光位移计。
  • 可探测产品的 １μｍ 的翘曲，以获得更佳喷胶高度。
  • 重复精度：±1μm
  • 0.01 sec/point
  • 喷嘴高度校正功能
检查功能
  • 异类产品混入检查功能
  • 基板朝向错误报警
  • 涂胶形状、涂胶量的检测功能
  • 胶高检测功能
  • Bad Mark 跳过功能
  • 排胶状态的检测功能（涂布形状等）
  • 自动称重功能
  • Underfill浸润面积检查功能
自动校准系统
  • 胶阀，测高传感器，相机间自动校准
  • 点胶阀，高度测量，相机安装位置相关的自动位置校正
  • 专用针头检测及位置校正系统
  • 喷嘴校准
    → 喷嘴安装位置误差校准
    → 针头弯曲检查功能
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